29 декабря 1708 года указом Петра I территория Российской империи была разделена на 8 губерний: Московскую, Ингерманландскую, Архангелогородскую, Киевскую, Смоленскую, Казанскую, Азовскую и Сибирскую.
Губернская реформа Петра I диктовалось необходимостью совершенствования системы административного деления, которое во многом устарело к началу XVIII века. В XVII веке территория Московского государства делилась на уезды — округа, имевшие с городом тесные хозяйственные связи. Во главе уезда стоял воевода, присланный из Москвы. Такой порядок был неэффективен: уезды по своему размеру были чрезвычайно неравномерны — иногда очень крупные, иногда очень маленькие.
Впоследствии Пётр увеличил число губерний еще на три, образовав Рижскую, Астраханскую и Нижегородскую, а Смоленскую ликвидировал как самостоятельную, поделив её между Московской и Рижской губернией.
Во главе губерний были поставлены губернаторы, на которых не возлагалось никаких задач по устройству местного благосостояния. Они должны были: собирать казённые сборы, блюсти за тем, чтобы все повинности, падавшие на губернию, были исполнены, чтобы определённое с губернии количество рекрутов и работных людей было доставлено в срок.
После первой петровской реформы губернии не делились на уезды, а составлялись из городов и прилегающих к ним земель, а также разрядов и приказов. В 1710—1713 годах они были разделены на доли (административно-фискальные единицы), которые управлялись ландратами.
В 1727 году губернии стали делиться не только на провинции, но и на уезды, были выделено 7 новых губерний. В 1744 году были образованы две новые губернии — Выборгская и Оренбургская — общее количество губерний достигло 16, при этом прибалтийские губернии вместо провинций и уездов делились на дистрикты.
Поскольку империя продолжала расширяться, к 1766 году количество губерний увеличилось до 20, а к 1775 — до 23. 7 ноября 1775 года Екатерина II подписала указ, в соответствии с которым размеры губерний были уменьшены, их число увеличено вдвое, ликвидированы провинции (в ряде губерний внутри них были выделены области) и изменена нарезка уездов.
Позже были учреждены наместничества. Екатерининская реформа была завершена в 1785 году, и в её результате территория Российской империи стала делиться на 38 наместничеств, 3 губернии (Петербургскую, Московскую и Псковскую) и 1 область на правах наместничества (Таврическую). К концу царствования Екатерины II Россия делилась на 50 наместничеств и губерний и 1 область.